[实用新型]扫描探针显微镜立式探头无效
| 申请号： | 94217067.9 | 申请日： | 1994-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN2208271Y | 公开（公告）日： | 1995-09-20 |
| 发明（设计）人： | 白春礼;戴长春;黄桂珍;陈增波;王培森;商广义 | 申请（专利权）人： | 中国科学院化学研究所 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/20;G02B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种扫描探针显微镜SPM的立式探头，它使用一只旋柄4，通过滑动机构5同时调节支撑探头上部I的两个支点运动；再用旋柄6带动螺纹副7调节另一支点，同时配以压电器件3的电反馈伸缩，完成SPM测试调节任务，克服了原有调节装置，在对样品测试调节时的复杂和费时，达到了方便省时调节的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 立式 探头 | ||
【主权项】：
1、一种扫描探针显微镜立式探头，其部件有装有探针(1)的探头上部Ⅰ，装有样品(2)和压电器件(3)的探头下部Ⅱ，以及固定在探头下部Ⅱ上的调节机构，其特征在于所述的调节机构中，探头旋柄(4)与连接的螺纹副上装有一个滑动机构(5)，旋柄(6)连接螺纹副机构(7)，探针(1)的下方为压电器件(3)。
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