[实用新型]单室固定靶磁控溅射幕墙玻璃镀膜机无效
| 申请号： | 94244721.2 | 申请日： | 1994-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN2202752Y | 公开（公告）日： | 1995-07-05 |
| 发明（设计）人： | 刘殿凯;解云飞 | 申请（专利权）人： | 刘殿凯;解云飞 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100050*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单室固定靶磁控溅射幕墙玻璃镀膜机，它包括真空室，固柱状磁控溅射靶，轰击棒，玻璃传动机械，气体分布管路，电源，冷却水系统，其中轰击棒装在真空室后部，圆柱状阴极溅射靶安装于真空室中央，气体分布管环绕在溅射靶周围，靶的外套管上端与真空室顶端连接，靶的电流接头和冷却水系统接头装在真空室外。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 磁控溅射 幕墙 玻璃 镀膜 | ||
【主权项】：
1、一种单室固定靶磁控溅射幕墙玻璃镀膜机，其特征是它包括真空室，圆柱状磁控溅射靶，轰击棒，玻璃传动机械，气体分布管路，电源，冷却水系统，其中轰击棒装在真空室后部，圆柱状阴极溅射靶按装于真空室中央，气体分布管环绕在溅射靶周围，靶的外套管上端与真空室顶端连接，靶的电流接头和冷却水系统接头装在真空室外。
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