[发明专利]掩模原版和利用掩模原版测量掩模原版旋转误差的方法

摘要

一种设有母游标和子游标用来测量掩模原版旋转误差的掩模原版，该母游标设于掩模原版的某部位，该部位对应于使用该掩模原版的曝光设备所装透镜的中心部分。至少一对子游标分别沿着通过母游标的水平线由母游标隔开并均匀排布在掩模原版区域。该掩模原版能有效地减小由透镜的变形所造成的不良影响并精确地测量旋转误差。

主权项

1、一种掩模原版，具有用来测量掩模原版旋转误差的母游标和子游标，其特征在于：母游标设在掩模原版对应于使用该掩模原版的曝光设备所装透镜的中心的部位；和至少一对子游标分别设于掩模原版的范围内，由母游标均匀分隔开，沿穿过母游标的水平线均匀分布。