[发明专利]制造薄膜可驱动反射镜阵列的改进方法

摘要

制造Ｍ×Ｎ薄膜可驱动反射镜阵列方法包括提供一含有Ｍ×Ｎ个接线端的矩阵，在其顶面上构造一薄膜待除层；去除薄膜待除层中围绕各接线端的部分，在其中形成一支持元件，以形成一支持层；在支持层的顶部形成一弹性层；在支持元件和弹性层内构造一导管；在弹性层的顶部沉积第二薄膜层，在第二薄膜电极和弹性层顶部形成薄膜电致位移层，并使之与弹性层及其上的第一薄膜层分别形成Ｍ×Ｎ个相应的电极和元件图案；去除薄膜待除层，形成要制造的阵列。

主权项

1、一种制造用于光学投影系统的薄膜可驱动反射镜阵列的方法，该方法包括以下步骤：提供一个带有一个顶面的有源矩阵，该有源矩阵包含一个位于其顶面的M×N接线端阵列、一个基底和一个M×N晶体管阵列；在有源矩阵的顶面构造一个薄膜待除层，使得该薄膜待除层完全覆盖M×N接线端阵列；去除薄膜待除层中围绕各个接线端的那些部分；通过用第一绝缘材料充填上述那些部分，在每个接线端的周围形成一个支持元件，由此形成一个带有M×N支持元件阵列和薄膜待除层的支持层；在支持层的顶部淀积一个由第二绝缘材料做成的弹性层；在每个支持元件中形成一个导管，每个导管都从弹性层的顶部开始，通过相应的支持元件，延伸到相应接线端的顶部；在弹性层的顶部淀积一个由导电材料做成的第二薄膜层；使第二薄膜层形成图案，变为一个M×N第二薄膜电极阵列，其中每个第二薄膜电极都与相应的导管有电连接；在M×N第二薄膜电极阵列和弹性层的顶部形成一个薄膜电致位移层；对薄膜电致位移层进行热处理，使之发生相变；使薄膜电致位移层形成图案，变为一个M×N薄膜电致位移元件阵列，每个薄膜电致位移元件都包围着相应的第二薄膜电极；使弹性层形成图案，变为一个M×N弹性元件阵列；在各薄膜电致位移元件、各弹性元件和支持层的顶部淀积一个第一薄膜层；使第一薄膜层形成图案，变为一个M×N第一薄膜电极阵列，其中，每个第一薄膜电极都包围着相应的薄膜电致位移元件，并覆盖着相应的弹性元件部分；以及去除薄膜待除层，由此形成M×N薄膜可驱动反射镜阵列。