[发明专利]喷射沉积设备

摘要

本发明涉及一种喷射沉积设备，该设备在传统的设备上增加工了运动控制装置、外强冷装置和连接板，坩埚、喷嘴和外强冷装置固定在连接板上，由运动控制装置控制其运动，冷却介质为液氮或惰性气体，采用普通喷嘴就可以完成较大坯件的生产，喷射距离为１５０～２００ｍｍ，雾化气压为１．０～１．２Ｍｐａ，喷嘴出口径２．８～３．０ｍｍ，沉积物的沉积速度由１０～１０2k/s提高到103～104k/s，沉积坯件的尺寸大，精度高。

主权项

1．一种喷射沉积设备，包括坩埚、喷嘴、基体、雾化室、排气管、传动装置、内冷装置，其特征在于：还有连接板和控制连接板运动的运动控制装置、冷却沉积物的外强冷装置，与坩埚连成一体的喷嘴和外强冷装置的导管均穿过连接板，并紧固在连接板上。