[发明专利]中空光波导的制备工艺

摘要

本发明是一种中空介质膜金属光波导的制备工艺，包括芯基的拉制及表面处理、介质膜及金属膜的真空蒸涂、金属外壳的电镀、芯基的腐蚀去除等步骤，制得的中空光波导内层为介质膜，中间层为金属膜，外壳为金属镀层。本制备工艺采用表面光洁度高的玻璃管作为芯基，介质膜对传输的光波具有高折射率从而能增加其反射率，而金属外壳有一定厚度使其具有一定的机械强度，因此，光波导的内壁表面具有高光学质量，光传输损耗低，波导不易损坏，使用寿命长。

主权项

1、一种中空光波导制备工艺，包括芯基的制备、介质膜的真空蒸涂、金属膜的真空蒸涂、外壳金属的电镀和芯基的腐蚀去除，其特征是：(1)采用玻璃管作为芯基材料，经拉制成外径为0.3～1.5mm，长度为100～500mm、表面光洁度为8～10的细玻璃管作为制备中空光波导的芯基；(2)在芯基外壁真空蒸涂介质膜，膜材料为二氧化锆或锗膜厚为1000～5000；(3)在介质膜上真空蒸涂金属膜，膜材料为反光性能好的金属银或金，膜厚1000～2000；(4)在金属膜上电镀金属铜或镍作为中空光波导的外壳，镀层厚度为0.1～0.2mm；(5)芯基的去除，用浓度为20％的氢氟酸腐蚀玻璃芯基10～20分钟。