[发明专利]固态摄像装置及其制造方法无效
申请号: | 95115053.7 | 申请日: | 1995-08-08 |
公开(公告)号: | CN1124431A | 公开(公告)日: | 1996-06-12 |
发明(设计)人: | 松田祐二;庭山雅彦 | 申请(专利权)人: | 松下电子工业株式会社 |
主分类号: | H04N1/00 | 分类号: | H04N1/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 叶恺东,马铁良 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种在电视摄像机等中所使用的固态摄像装置及其制造方法。在传送部25的下方通过P型掺杂层24而形成用于排出电荷的n型埋入泄漏部30。由用于控制阈值电压(Vt)的P型读出控制部26分隔受光部22和传送部25之间的读出侧;由沟道截断环27来分隔非读出侧。在受光部22和传送部25上形成绝缘膜28,通过导电型电极29从传送部25读出受光部22的电荷。为了防止暗电流,在受光部22和绝缘膜28的界面上形成P型埋入扩散层23。 | ||
搜索关键词: | 固态 摄像 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种固态摄像装置,在半导体基板上至少具有第一导电型的掺杂层和在蓄积由入射光生成的信号电荷的上述掺杂层内所形成的受光部,其特征在于,为了排出上述受光部的过剩电荷,除了上述受光部之外,还具有在基板深部所形成的第二导电型泄漏部。
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