[发明专利]压电/电致伸缩膜元件及其制作方法无效
| 申请号： | 95115342.0 | 申请日： | 1995-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN1050008C | 公开（公告）日： | 2000-03-01 |
| 发明（设计）人： | 武内幸久;七泷努 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 马浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种压电／电致伸缩膜元件，它包括一个有至少一个窗口（６，３６）和一个用来封闭每个窗口的整体地形成的膜片部（１０）的陶瓷基片（２，２２），及一个包括按叙述次序在该膜片部的外表面上形成的下电极（１２，４０）、压电／电致伸缩层（１４，４２）和上电极（１６，４４）的压电／电致伸缩单元（１８，２４）。该压电／电致伸缩层由一个具有不小于０．７μｍ的晶粒尺寸和不大于１５％的孔隙率（Ｘ）的致密体组成，而该膜片部具有０～８％的偏移率（Ｙ）。孔隙率（Ｘ）和偏移率（Ｙ）满足以下公式Ｙ≤０．１１６７Ｘ2-3.317X+25.5。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 伸缩 元件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电/电致伸缩膜元件，该元件包括：一个有至少一个窗口(6，36)和一个用来封闭每个所述至少一个窗口的膜片部(10)的陶瓷基片(2，22)，所述膜片部作为所述陶瓷基片的一个整体部分而形成；及一个包括一个下电极(12，40)、一个压电/电致伸缩层(14，42)和一个上电极(16，44)的压电/电致伸缩单元(18，24)，这些下电极、压电/电致伸缩层和上电极按叙述次序通过一种膜形成方法形成在所述膜片部的外表面上，以提供一种叠层结构，其特征在于：所述压电/电致伸缩层由一个具有不小于0.7μm的晶粒尺寸和不大于15％的孔隙率X的致密体组成，所述膜片部具有0～8％的偏移率Y，该偏移率等于所述膜片部的中部的偏移量对一条横跨所述至少一个窗口中一个对应的窗口延伸并穿过该窗口的中心的最短直线的长度的百分比，所述孔隙率X和所述偏移率Y满足以下公式：Y≤0.1167X2-3.317X+25.5
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