[发明专利]压电/电致伸缩膜元件及其制作方法

摘要

一种压电／电致伸缩膜元元件，它包括一个有至少一个窗口（６，３６）和一个用来封闭每个窗口的膜片部（１０）的陶瓷基片（２，２２），及一个在该膜片部上形成的膜状压电／电致伸缩弹单元（１８，２４）。该膜片部有一种凸面形状并沿离开对应窗口的方向向外突出。该压电／电致伸缩单元包括一个下电极（１２，４０）、一个压电／电致伸缩层（１４、４２）和一个上电极（１６、４４），它们接叙述次序通过一种膜形成方法叠层地形成在该膜片部的凸形外表面上。还公开了一种制作如上所述的压电／电致伸缩膜元件的方法。

主权项

1.一种压电/电致伸缩膜元件，该元件包括：一个有至少一个窗口(6，36)和一个用来封闭每个所述至少一个窗口的、作为它的一个整体部分形成的膜片部(10，26)的陶瓷基片(2，22)；及一个包括一个下电极(12，40)、一个压电/电致伸缩层(14，42)和一个上电极(16，44)的膜状压电/电致伸缩单元(18，24)，这些下电极、压电/电致伸缩层和上电极按叙述次序通过一种膜形成方法叠层地形成在所述膜片部上，其特征在于：所述膜片部具有一种凸面形状并沿离开所述至少一个窗口中一个对应窗口的方向向外突出，所述压电/电致伸缩单元形成在所述膜片部的凸形外表面上。