[发明专利]目的物位置和斜度控制装置无效
| 申请号： | 95116359.0 | 申请日： | 1995-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN1150660A | 公开（公告）日： | 1997-05-28 |
| 发明（设计）人： | 金相哲 | 申请（专利权）人： | 三星航空产业株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G05D3/00 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 李晓舒 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明一般涉及一种用于控制目的物位置和斜度的控制装置，更具体地涉及一种将例如晶片或基片等目的物的位置和斜度保持在投影透镜的焦距限值内的控制装置。该控制装置包含一光源，其发光被传输到目的物并由目的物反射；一第一掩模，来自光源的光经其通过，且其上刻有不对称的图形；第一和第二光接收器，检测由目的物反射的光；以及控制装置，根据由光接收器接收的信号调整目的物的位置和斜度。 | ||
| 搜索关键词： | 目的 位置 斜度 控制 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于控制目的物的位置和斜度的控制系统，包含：一光源，其发光被传输到目的物并由目的物反射，一第一掩模，由光源发出的光经其通过，并且在其上刻有不对称的图形；第一和第二光接收器，它们检测由目的物反射的光；以及控制装置，根据由光接收器接收的信号调整目的物的位置和斜度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星航空产业株式会社，未经三星航空产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/95116359.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：钢筋调直切断机的牵引与切断时的暂停机构
- 下一篇：被照明的门锁
