[发明专利]有Ta或W薄膜的乐甫波器件无效
| 申请号： | 95117676.5 | 申请日： | 1995-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN1090840C | 公开（公告）日： | 2002-09-11 |
| 发明（设计）人： | 门田道雄;米田年麿;沟口直树 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘晓峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种价廉的乐甫波器件，其谐振与反谐振频率间的频差范围宽，该器件供X传播的Y切割基片由LiNbO#-[3]制成。基片上设有Ta或W薄膜组成的叉指换能器，供激发乐甫波之用。 | ||
| 搜索关键词： | ta 薄膜 乐甫波 器件 | ||
【主权项】：
1.一种乐甫波器件，包括：一个Y切割基片，供X传播用；一个叉指换能器，供激发乐甫波用；所述换能器由安置在所述Y切割基片上的Ta薄层组成；所述Y切割基片由LiNbO3制成。
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