[发明专利]原子力显微镜

摘要

本发明揭示一种原子力显微镜，它包括备有共焦透镜及探针的Ｚ向扫描部；使该扫描部沿垂直试样表面的方向移动的Ｚ向扫描器；包含上述两部分及二向色镜的Ｘ向扫描部；使Ｘ向扫描部沿与试样表面平行的平面内的Ｘ方向移动的Ｘ向扫描器；备有Ｘ向扫描部、Ｘ向扫描器、检测光放射系统及变位检测系统的Ｙ向扫描部；使Ｙ向扫描部沿与试样表面平行的平面内、垂直于Ｘ方向的Ｙ方向移动的Ｙ向扫描器。具有能测定大型试样的优点。

主权项

1．一种原子力显微镜，该显微镜把由检测光发射系统发射的大致平行的变位检测光，通过二向色镜使其方向变为大致成直角的方向后，导向共焦透镜，由该共焦透镜把变位检测光汇聚于探针的反射面附近，把根据因作用于探针与试样表面间的原子力而变位的所述探针反射面反射的所述变位，反射角产生差异的反射光导向所述共焦透镜，再由所述二向色镜变换方向为大致成直角的方向，导向变位检测系统，在该系统中放大探针的变位并检出；其特征在于，所述原子力显微镜包括：备有所述共焦透镜及探针的Z向扫描部；使Z向扫描部沿试样表面垂直方向移动的Z向扫描器；备有所述Z向扫描部、Z向扫描器及二向色镜的X向扫描部；使X向扫描部沿与试样表面平行的面内的X方向移动的X向扫描器；备有所述X向扫描部、X向扫描器、所述检测光发射系统及所述变位检测系统的Y向扫描部；使所述Y向扫描部沿与试样表面平行面内的、与X方向垂直的Y方向移动的Y向扫描器；所述X方向和Y方向位于试样表面，所述Z方向是与所述试样表面垂直的方向。