[发明专利]用于测量一个物体的两个可视特征的系统和方法无效
| 申请号： | 95119967.6 | 申请日： | 1995-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1135040A | 公开（公告）日： | 1996-11-06 |
| 发明（设计）人： | A·L·阿德里安森;R·N·卡芬;D·W·克罗;D·E·特维;J·迪尔;G·J·希格森 | 申请（专利权）人： | 联邦科学及工业研究组织 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,马铁良 |
| 地址： | 澳大利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于测定物体至少两个不同可视特征的方法和装置。该方法包括(I)测定物体的第一参数，这是通过将物体定位；光照射在物体上，该光包含与物体无表面起伏特征相关的信息；产生是第一参数函数的信号及由该信号测定第一参数，(II)测定物体的第二参数，这是通过将物体定位；先照射该物体，该光包含与物体表面起伏特征相关的信息；检测产生是第二参数函数的信号；及由该信号测定第二参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 一个 物体 两个 可视 特征 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.用于测定一个物体的至少两个不同的可视特征的方法，包含(I)测定物体的第一参数，利用(a)在第一参数测量相互作用空间中使该物体定位；(b)光照射在第一参数测量相互作用空间中的物体，该空间具有的光域是由一基本上均匀分布的测量光域和一显著均匀分布的测量光域构成的组合中选择出来的；以便产生无表面起伏的测量出射光，该光包含与物体的无表面起伏的特征相关的可视信息；(c)检测该无表面起伏的测量出射光和由其产生信，因此该信号是第一参数的函数；以及(d)由该信号测定第一参数；(II)测定物体的第二参数，利用(a′)在第二参数测量相互作用空间中使该物体定位；(b′)光照射在第二参数测量相互作用空间中的物体，该空间具有定向的测量光域，以便产生表面起伏的测量出射光，该光包含与物体的表面起伏特征相关的可视信息；(c′)检测该表面起伏的测量出射光并由其产生信号，因此，该信号是第二参数的函数；以及(d′)由该信号测定第二参数。
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