[发明专利]流量传感器装置及其方法无效
申请号: | 95120125.5 | 申请日: | 1995-12-27 |
公开(公告)号: | CN1143182A | 公开(公告)日: | 1997-02-19 |
发明(设计)人: | 维杰伊·萨里汉 | 申请(专利权)人: | 摩托罗拉公司 |
主分类号: | G01F1/76 | 分类号: | G01F1/76 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 陆立英 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 流量传感器包括主体部分,当置于流体流中时提供压力差,和压力传感器部分与主体部分相关联以感测压力差。在主体部分(13、72、113)包括从入口侧(24、44、124)向出口侧(26、46)延伸的管道(16、76、116)。该管道有一个内部部分(27、47、87),在入口侧处有第一截面积,并内部(27、47、87)有一个小于第一截面积的第二截面积。压力传感器部分包括隔板(18、38、78、118)。 | ||
搜索关键词: | 流量传感器 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种微加工传感器,用以感测流体的流速,其特征在于:一个带有管道(16、36、76)的流量缩颈部分(13、33、72),此管道具有二个相对的侧壁、在一端有一个第一开口,而在另一端有一个第二开口,其中管道从第一开口到喉部(27、47、87)逐渐变窄,而从喉部到第二开口逐渐变宽,致使管道在第一开口处有一个第一截面积并在喉部处有一个第二截面积,此第二截面积小于第一截面积;一个盖板部分(12、73、112、212),构成管道(16)一侧;以及一个压力传感部分(14、34、74),带有一个薄隔板(18、38、78),此薄隔板具有一个厚度(19、39、79)和第一及第二相对表面,此压力传感部分与流量缩颈部分的空间关系使得在流体流过管道时,薄隔板根据第一和第二表面之间的压力差而偏移。
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