[发明专利]电容式位移测量装置

摘要

旋转编码器１０由半个圆筒形定子１１和圆筒形转子１２构成。转子１２与定子１１同轴放置，相隔一个预定的间隙。螺旋形图案的多个发送电极１３和矩形图案的接收电极１４形成在定子１２的内表面上。发送电极１３和接收电极１４由带有引线１５、１６的ＦＰＣ衬底１７构成。在转子１２的外表面上形成螺旋形图案的耦合电极１８，以便与发送电极１３和接收电极１４容性耦合。

主权项

1.一种电容式测量装置，用于测量相隔一个预定的间隙、相互可运动地安装的第一和第二部件之间的相对位置，该装置包括：放置在所述第一部件上的发送电极阵列，相互间相位不同的交变信号送至每个发送电极；放置在所述第一部件上的接收电极，与所述发送电极阵列隔开；以及放置在所述第二部件上的耦合电极，与所述发送电极阵列中的多个电极和所述接收电极容性耦合，所述接收电极用于输出对应于所述第一和第二部件之间的相对位置的电信号，该电信号被送至测量电路，其特征在于：所述第一和第二部件中的一个是具有圆筒形外表面的内部件，另一个是具有不完全圆筒形内表面的外部件，该不完全圆筒形内表面与所述外表面相对，相隔一个预定的间隙，所述第一和第二部件或以轴向或以角度方向可相对运动，以及所述发送电极阵列和所述接收电极放置在所述内部件的所述外表面和所述外部件的所述内表面的一个表面上，而所述耦合电极放置在另一个表面上。