[发明专利]差动式气体感测-在线监测系统

摘要

一种在线检测系统(200)和方法，用于实时检测流动气流中的杂质浓度。一个特别的方面，系统可包括一个在线监测系统，用来确定流动气流中的杂质类标定的浓度，在低于预定的浓度值的低浓度范围内，以及在高于预定的浓度值的高浓度范围内。一个传感器连接装置(214)使净化器(208)与感测装置(212)互连，用以监测气流中的杂质水平。一个开关阀(230)插入配置在净化器(208)和传感器(212)之间的流动环路中，用来有选择地控制来自气流的已净化的和未净化的气体流向杂质检测装置。系统可在水为重要杂质情况下采用湿度计传感器，或者采用敷有合适的杂质亲合敷层的超声波(SAW)器件。系统在监测半导体器件制造中的汽相处理，例如化学蒸法镀敷中所用的气流中的低杂质水平(例如大约0.1ppm至大约100ppm)方面特别有效。

主权项

1、一种在线监测系统，用于确定流动气流中杂质类的标定的浓度，在低于预定浓度值的低浓度范围内，以及在高于所述预定浓度值的高浓度范围内，所述系统包括：(a)确定气流流路的装置；(b)气体净化器，来自流动气流的气体可以从该净化器流过，在其中除去杂质类；(c)用于感测来自流动气流的气体中的杂质类浓度的装置；(d)有选择地使气体从气流流路流过气体净化器的装置，产生所述杂质类贫化了的净化气体；(e)使被净化的气体从所述气体净化器流向所述感测装置的装置；(f)有选择地使气体从气流流路流向感测装置而不流过气体净化器的装置；(g)确定流动气流中的杂质类浓度的标定平衡值的装置，运行时与感测装置相连，该平衡值得自被所述感测装置测得的未净化的气体的杂质类浓度，和与之有标定关系的、被所述感测装置测得的已净化的气体的杂质类浓度；(h)流体控制装置，运行时与气体流动装置(f)和(g)相连，并被设置为能使来自流动气流的气体在一个重复循环中，有选择地、交替地和重复地以第一可选时间周期t1经气体流动装置(f)流至气体净化器，继而以第二可选时间周期t2，流经气体流动装置(g)，其中，在低于所述预定浓度值的低浓度范围内，t2＞t1，又其中，在高于所述预定浓度值的高浓度范围内，t1＞t2。