[发明专利]生产立方氮化硼耐磨层的工艺和应用无效
| 申请号： | 95192087.1 | 申请日： | 1995-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN1072276C | 公开（公告）日： | 2001-10-03 |
| 发明（设计）人： | 霍尔格·吕得杰;克劳斯·贝维罗佳;西蒙纳·达得 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫促进应用研究协会 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 孙敬国 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种生产由立方氮化硼组成的耐磨层或者含有氮化硼的耐磨层的工艺，该工艺是通过用高频或者直流，以不平衡磁控管的工作方式和利用直流电弧放电或直流电驱动的磁控管阴极产生的等离子体进行上粉来实现的。作为发射靶极使用的是导电的碳化硼做的靶极，其涂层的化学计量通过导入的氮气和氩气对反应过程的引导来加以调节的。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 生产 立方 氮化 耐磨 工艺 应用 | ||
【主权项】：
1．一种生产由立方氮化硼组成的耐磨层或者含有氮化硼的耐磨层的工艺，所述工艺是通过用高频或者直流，以不平衡磁控管的工作方式和利用直流电弧放电或直流电驱动的磁控管阴极产生的等离子体进行上粉来实现的，其特征在于，作为发射靶极使用的是导电的碳化硼做的靶极，其涂层的化学计量通过导入的氮气和氩气对反应过程的引导来加以调节的。
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