[发明专利]化学蚀刻装置及方法无效
| 申请号： | 95193863.0 | 申请日： | 1995-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1125191C | 公开（公告）日： | 2003-10-22 |
| 发明（设计）人： | 米尔恩·朱里西奇 | 申请（专利权）人： | 梅兰夏国际信托有限公司;米尔恩·朱里西奇 |
| 主分类号： | C23F1/04 | 分类号： | C23F1/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 瓦努阿图*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种化学蚀刻方法，包括以下步骤：(i)将一用金属制成的挤压件或铸造件悬挂在一蚀刻溶液中，其中，在初始时，挤压件或铸造件利用垂力而完全淹没在蚀刻溶液中，尔后因蚀刻溶液使金属从挤压件或铸造件中去除而使之变得易浮起，挤压件或铸造件由一不漂浮的支承件支承，支承件在挤压件或铸造件浸在蚀刻溶液中的整个过程中将挤压件或铸造件保持于完全淹没的状态。(ii)当需要时，将挤压件或铸造件从蚀刻溶液中抽出。本发明也指一种化学蚀刻装置，用来在上述方法中使用，另外，还指不漂浮的支承件本身。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 蚀刻 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学蚀刻方法，包括以下步骤：(I)将一用金属制成的挤压件或铸造件悬挂在一蚀刻溶液中，其中，在初始时，挤压件或铸造件利用垂力而完全淹没在蚀刻溶液中，尔后因蚀刻溶液使金属从挤压件或铸造件中去除而使之变得易浮起，挤压件或铸造件由一不漂浮的支承件支承，支承件在挤压件或铸造件浸在蚀刻溶液中的整个过程中将挤压件或铸造件保持于完全淹没的状态；(ii)当需要时，将挤压件或铸造件从蚀刻溶液中抽出。
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