[发明专利]采用极性溶剂中的离子交换树脂降低金属离子含量的方法无效
| 申请号： | 95197179.4 | 申请日： | 1995-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1082677C | 公开（公告）日： | 2002-04-10 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉曼;D·P·奥宾;D·N·坎纳;D·麦肯泽 | 申请（专利权）人： | 科莱恩金融(BVI)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 英属维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供采用经过处理的阴离子与阳离子交换树脂生产其中金属离子含量极低的水不溶性、含水碱溶性成膜可溶可熔酚醛树脂的方法。同时还提供用于由该可溶可熔酚醛树脂生产其中金属离子含量极低的光刻胶组合物的方法和用于采用该光刻胶组合物生产半导体装置的方法。$#! | ||
| 搜索关键词： | 采用 极性 溶剂 中的 离子交换 树脂 降低 金属 离子 含量 方法 | ||
【主权项】：
1.一种水不溶性、含水碱溶性成膜可溶可熔酚醛树脂的制备方法，其中包括：a)用去离子水清洗阴离子交换树脂，随后用5～98％无机酸溶液清洗所述阴离子交换树脂，此后用去离子水再次清洗所述阴离子交换树脂，用4～28％氢氧化铵溶液洗涤所述阴离子交换树脂，再用去离子水洗涤所述阴离子交换树脂，从而将所述阴离子交换树脂中Na与Fe离子含量分别降至少于200ppb，b)用去离子水清洗阳离子交换树脂，随后用无机酸溶液清洗所述阳离子交换树脂，此后用去离子水清洗所述阳离子交换树脂，从而将所述阳离子交换树脂中Na与Fe离子含量分别降至少于200ppb；c)将可溶可熔酚醛树脂溶于其中极性与非极性有机溶剂的比值为2∶1～1∶2的混合物中，使该溶液通过孔径为0.04～0.5μm的滤器，使与可溶可熔酚醛树脂溶剂相同或至少相溶的溶剂通过所述阴离子交换树脂，使该可溶可熔酚醛树脂溶液通过阴离子交换树脂从而将该溶液中Na与Fe离子含量分别降至少于200ppb；d)使与可溶可熔酚醛树脂溶剂相同或至少相混溶的溶剂通过所述阳离子交换树脂，使该可溶可溶酚醛树脂溶液通过所述阳离子交换树脂，随后蒸除极性溶剂，以便得到其中Na与Fe离子含量分别少于100ppb的处于非极性溶剂中的可溶可熔酚醛树脂溶液。
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