[发明专利]射频离子源无效
| 申请号： | 95197608.7 | 申请日： | 1995-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN1061781C | 公开（公告）日： | 2001-02-07 |
| 发明（设计）人： | M·L·兰富德;J·F·J·托德 | 申请（专利权）人： | 英国国防部 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J27/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹光新,董巍 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种适合在空气中某个气压范围内低功率工作的ｒＦ离子源包括具有一个或多个阴极（１）和一个阳极（２）的放电电极。每个阴极（１）通过一个所配合的耦合装置（４）接至ｒＦ信号源（８），而阳极（２）所提供的能发生等离子放电的表面面积基本上不大于能发生放电的总阴极面积。这样，阳极（２）提供了不比符合最佳等离子放电面积所需更多的有效表面，从而防止了等离子区的游移，使放电稳定性高于现有离子源。通过将各电极配置成使得阳极与阴极的能发生放电的相应区域相隔不大于５ｍｍ以及将各电极加工成具有高度弯曲的端部以便在离子源工作时在极间间隙内建立一个高度扭曲的电场，从而甚至能在大气压下以非常低的功率输入产生高效率的放电。$#! | ||
| 搜索关键词： | 射频 离子源 | ||
【主权项】：
1．一种包括一个或多个阴极、一个阳极和与各自所配合的阴极连接的用来使所配合的阴极与一个rf信号源耦合的耦合装置的rf离子源，其中：阳极和阴极的能发生放电的各面积的主要部分相隔不大于5mm，阳极的能发生放电的所述面积基本上不大于各阴极的能发生放电的相应总面积，而各阴极设计成具有使得在所述离子源工作时在阳极与各阴极之间的空间内的电场充分扭曲的形状，从而促进在这空间内形成更多的离子和电子。
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