[发明专利]机械连接式溅射靶及其适配器无效
| 申请号： | 95197804.7 | 申请日： | 1995-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1181115A | 公开（公告）日： | 1998-05-06 |
| 发明（设计）人： | D·P·斯特劳斯;T·J·胡恩特;P·S·吉尔曼 | 申请（专利权）人： | 材料研究有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周备麟,林长安 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种靶组件,其中溅射材料不是用焊接法或其它冶金方法接合于衬板(20)上的。而是以机械方式(例如用螺栓(45)将靶(30)连接于适配器(32)上,该靶(30)整个由单一的溅射材料制成,该适配器本身被永久性地固定在真空室(10)上。结果是,可以容易地从真空室上卸下和更换溅射靶,而并不需要卸下和更换衬板。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 连接 溅射 及其 适配器 | ||
【主权项】：
1.一种靶组件，它可拆卸地装在真空室壁上的开口中，以用于通过将靶组件上的溅射材料溅射到衬底上而加工衬底，该组件包括：适配器，它具有限定孔的内周面，所述适配器的尺寸适合于装在真空室的开口中；由所述溅射材料制成的靶，所述靶的外周面的尺寸和构形使该靶可以插入所述孔中，因而靶仅沿所述适配器的内周面接触适配器；以及机械连接件，该连接件穿过所述适配器和所述靶，从而以机械方式将靶连接于适配器的内周面上。
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