[实用新型]大回路闭合溅射轨迹柱状磁控靶无效
| 申请号： | 95200005.9 | 申请日： | 1995-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN2232044Y | 公开（公告）日： | 1996-07-31 |
| 发明（设计）人： | 郑世民;范毓殿;李云松 | 申请（专利权）人： | 郑世民 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100026 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜机所用的大回路闭合溅射轨迹的柱状磁控靶。该柱状靶的靶材为圆管，靶材两端置有N极板和S极板，靶管内部的空腔为水冷通道，中间置有N极靴、N极片、S极靴、S极片和永磁体。本实用新型设计的柱状磁控靶采用平行靶材的轴向的磁路系统，使溅射区与靶管轴向平行且形成大回路闭合溅射轨道。使溅射区沿靶管轴向均匀刻蚀，提高靶材利用率和镀膜均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 回路 闭合 溅射 轨迹 柱状 磁控靶 | ||
【主权项】：
1.一种大回路闭合溅射轨迹柱状磁控靶，包括靶材、永磁体、水冷通道、其特征在于还包括N极板、N极靴、S极板、S极靴和磁芯；所述的靶材为空心圆柱形靶管，N极板和S极板分别置于靶管的二端；圆柱形靶管内腔为水冷通道，磁芯置于靶管的中央；永磁体为块状，每一块永磁体与磁芯的一边相接；N极靴有二块，极靴的一端与N极板相接，沿靶管的内壁插入靶管内壁与永磁体之间；S极靴有二块，极靴的一端与S极板相接，沿靶管的内壁插入内壁与永磁体之间。
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