[实用新型]镀膜系统用的激光自动消颗粒装置无效
| 申请号： | 95207420.6 | 申请日： | 1995-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN2245620Y | 公开（公告）日： | 1997-01-22 |
| 发明（设计）人： | 周岳亮;崔大复;吕惠宾;陈正豪;许世发;刘彦巍;何萌;杨国桢;熊旭明;王会生;李春苓 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属激光制膜技术领域。是一种采用激光法制膜过程中用于消除薄膜表面和内部颗粒，并在制膜后用于膜层再构的装置。本实用新型提供一种由激光器，真空室，可控聚焦透镜，可控靶-反射镜联动部件，加热器等组成的镀膜系统用的激光自动消颗粒装置。本实用新型克服了薄膜表面和内部存在颗粒的缺点，提高了膜的质量，而且成膜速率高。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 系统 激光 自动 颗粒 装置 | ||
【主权项】：
1.一种由激光器，真空室，加热器，靶组成的镀膜系统用的激光自动消颗粒装置，其特征在于：包括在真空室(7)外，有一可控聚焦透镜(3)，它放置在可在导轨(13)内滑动的滑块(14)上，滑块(14)与丝杠(12)相联，丝杠(12)与电脑控制的步进电机(11)联结，聚焦透镜前放一个扫描反射镜(2)，在真空室(7))内与基3片加热器(9)的相对位置上安置一个转盘(10)，它的轴通过磁耦合与真空室外的另一部电脑控制的步进电机(20)相联结。在转盘(10)上固定一个靶(5)和反射镜(4)，在真空室内垂直于反射镜(4)的方向上放置基片加热器(9)。
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