[实用新型]用于聚合物材料等离子体表面改性的装置无效
| 申请号： | 95221951.4 | 申请日： | 1995-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN2238836Y | 公开（公告）日： | 1996-10-30 |
| 发明（设计）人： | 胡建芳;钱露茜;李和利;马岩;刘裕明 | 申请（专利权）人： | 中央民族大学 |
| 主分类号： | C08J3/28 | 分类号： | C08J3/28;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京元中专利事务所 | 代理人： | 王凤华,高存秀 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种等离子体表面改性技术应用的装置，本实用新型提供一种由下、上法兰盘内带有真空橡胶密封圈的封盖与不锈钢圆筒组成的反应室，反应室内壁固定有一对与外接射频电源相匹配的电极、电极导电棒、电极绝缘板，在下法兰盘上固定有抽、充气接口和真空测量部件组成的用于聚合物材料等离子体表面改性装置。该装置容量大，结构紧凑，操作方便，该装置全部用金属制作，防止射频泄漏，保证操作人员安全。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 聚合物 材料 等离子体 表面 改性 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用上法兰盘(5)、盖板法兰盘(2)和下法兰盘(11)，通过盖板密封圈(3)固定在不锈钢反应室园筒(6)两端；在下法兰盘(11)的中心设有抽气口接头(13)，其左右各设有放气和充气接头(12)，另一侧设有真空规管接头(15)；反应室园筒(6)内壁两侧各有一组绝缘柱(27)组成的用于聚合物材料等离子体表面改性的装置，其特征在于：电极(24)通过绝缘柱(27)和电极绝缘板(25)，与反应室的内壁固定在一起，电极导电棒(28)通过电极绝缘棒(29)与金属反应室壁绝缘，并与外电源相联。
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