[实用新型]多弧型离子镀膜机无效
| 申请号： | 95228676.9 | 申请日： | 1995-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN2255434Y | 公开（公告）日： | 1997-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒 | 申请（专利权）人： | 北京长城钛金技术联合开发公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利事务所 | 代理人： | 付雷杰 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种多弧型离子镀膜机，其镀膜室由内外两同轴放置的圆柱状筒壁构成的环形镀膜空间，在筒体内外壁上均装有蒸发离化源。镀膜室内装有加热器，镀膜室顶部装有带传动装置和工件架的上盖。这种镀膜机装机容量大，生产效率高，适用于镀制不锈钢板及其制品等，也适用于镀制大尺寸环状或筒状大型工件的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 多弧型 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
1一种多弧型离子镀膜机，包括镀膜室、镀膜室底架、转架传动装置、工件架、蒸发离化源、扩散泵机组及气路组件，其特征在于：镀膜室为由内外两个同轴的圆柱状筒壁构成的环形筒体结构，镀膜室立于镀膜室底架上，镀膜室的内筒壁与外筒壁上均装有数个蒸发离化源，镀膜室内装有加热器，镀膜室顶部设有上盖，上盖上装有转架传动装置和工件架，扩散泵机组与外筒壁联接。
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