[实用新型]直接键合硅集成微振动陀螺无效
| 申请号： | 95239083.3 | 申请日： | 1995-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN2247813Y | 公开（公告）日： | 1997-02-19 |
| 发明（设计）人： | 茅盘松;张会珍 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P3/44 | 分类号： | G01P3/44;G01D5/12 |
| 代理公司： | 东南大学专利事务所 | 代理人： | 楼高潮,何业华 |
| 地址： | 210018*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 直接键合硅集成微振动陀螺是一种用于精密测量角速率的半导体惯性传感器，它由集成双框架结构的硅片和玻璃电极组成，两者之间采用直接静电键合连接，硅集成双框架结构采用各向异性腐蚀成凹凸形结构，硅集成双框架结构与玻璃电极之间的间隙可根据实际需要决定，一般为1～10μm，由于间隙控制精度高，可以缩小间隙，提高灵敏度，具有工艺简单、成本低、体积小和效率高等特点，可广泛应用于各种角速率测量场合。 | ||
| 搜索关键词： | 直接 键合硅 集成 振动 陀螺 | ||
【主权项】：
1、一种用于角速率测量的硅集成微振动陀螺，由集成双框架结构的硅片和玻璃电极组成，其特征在于集成双框架结构的硅片与玻璃电极之间为直接键合连接。
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