[发明专利]气体检漏器及其驱动方法

摘要

本发明涉及一种气体检漏器(1)，它有进气口(2)，质谱仪式探测器(3)，逆流推动的第一级摩擦泵(5)，第二级摩擦泵(7)，第一、第二级摩擦泵间的中间接管(6)，预抽真空泵(8)，检漏器进气口(2)和预抽真空泵(8)入口端(9)之间的第一级可隔绝连接管(13)，以及检漏器进气口(2)与中间接管(6)之间的第二级可隔绝接管(15)；为实现无油检漏，预抽真空泵(8)用隔膜泵。为实现较短的响应时间，检漏器(1)的进气口(2)和中间接管(6)之间的接管(15)的导纳可调。

主权项

1.气体检漏器(1)，它设有进气口(2)，质谱仪型探测器(3)，逆流驱动的第一级摩擦泵(5)，第二级摩擦泵(7)，中间接管(6)，它在第一级和第二级摩擦泵之间，预抽真空泵(8)，检漏器进气口(2)和预抽真空泵(8)入口端(9)之间的第一级可隔绝连接管(13)，以及检漏器进气口(2)和中间接管(6)之间的第二级可隔绝管(15)。其特征在于，设置一个隔膜泵作为唯一的预抽真空泵(8)。