[发明专利]成象装置无效
| 申请号： | 96105082.9 | 申请日： | 1996-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN1123048C | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | 伏见正弘;光武英明;鲈英俊 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J31/12 | 分类号： | H01J31/12;H01J29/82;H01J29/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种成象装置，包括用于支撑大气压的支撑件和装设在加速电极与基片之间的电位确定电极。该成象装置防止了诸如由于支撑件表面上的电荷使得图象质量劣化，并防止了出现在支撑件处来自流向电子发射装置的不规则噪声。为此，在电位确定电极与电子发射装置之间装设了第一支撑件，并且第一支撑件表面电阻以十倍或者更高大于第二支撑件表面电阻。该结构防止了不稳定电子发射特性，电子发射装置寿命的缩短，误操作以及调制电路的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 成象 装置 | ||
【主权项】：
1.一种成象装置，具有：一个基片；一个设置在所述基片上的电子发射装置；装设在所述基片上用于向该电子发射装置施加输入信号的布线电极；一个成象部件，从所述电子发射装置发射的电子射向该部件；以及，一个与所述基片相对装设以便加速从所述电子发射装置向所述成像部件发射的电子的加速电极，该装置包括：装设在所述加速电极与所述基片之间的电位确定电极；电连接到所述电位确定电极及所述加速电极的第二支撑件；以及连接到所述布线电极与电位确定电极的第一支撑件，其中所述第二支撑件具有一个半导体材料表面，并且其中所述第一支撑件具有比所述第二支撑件电阻大10倍或更多的电阻，且其中恒定的电位被施加到所述电位确定电极。
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