[发明专利]复合型湿度传感器湿敏元件

摘要

复合型湿度传感器湿敏元件，包括湿敏元件的基体为具有一定气孔率和气孔大小的三氧化二铝多孔陶瓷；在基体的上下表面设置有RuO＃-[2]电极，基体空隙中浸有感湿液，湿敏元件外表面涂覆有防水层。制备工艺为浸膜将半成型的多孔陶瓷湿敏元件浸入醋酸纤维素丙酮溶液中，自然干燥；再将成膜的湿敏元件放置烘干；老化将制成的耐水型多孔陶瓷湿敏元件放置在恒温恒湿箱内，再自然干燥，如此循环５次制成本发明的湿敏元件。

主权项

权利要求书1、复合型湿度传感器湿敏元件，其特征在于：该湿敏元件的基体为具有一定气孔率和气孔大小的三氧化二铝多孔陶瓷，在基体的上下表面设置有RuO2电极，基体空隙中浸有感湿液，湿敏元件外表面涂覆有防水层；所述的孔隙率为35-50％；所述的孔径为0.5～1.0μ；所述的防水层为醋酸纤维素丙酮溶液；所述的感湿液为聚丙烯酸钠；其制备工艺条件为：浸膜：(1)将半成型的多孔陶瓷湿敏元件浸入1％的醋酸纤维素丙酮溶液中，15～20秒钟后取出，自然干燥；(2)成膜的湿敏元件放置在120℃烘箱内，烘干30分钟；老化：(3)将制成的耐水型多孔陶瓷湿敏元件放置在恒温恒湿箱内：高温高湿：40℃,70％RH,3小时；低温低湿：5℃,30％RH,3小时；(4)取出湿敏元件，在常温环境中放置10小时；(5)将上述(3)和(4)循环5次，制成本发明的湿敏元件。