[发明专利]等离子体探头探测用的折叠取样器无效
| 申请号： | 96106901.5 | 申请日： | 1996-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1156827A | 公开（公告）日： | 1997-08-13 |
| 发明（设计）人： | A·R·A·基恩 | 申请（专利权）人： | ENI阿斯泰克美国分公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 叶恺东,王岳 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种折叠取样探头，供检测等离子体射频电压和电流用。这种探头采用取样频率低于射频基频的取样信号以产生折叠频率远低于射频基频的折叠波形。在一个实施例中，射频功率是在13.56兆赫(图3A)下加上去的。取样脉冲的取样频率为2.732兆赫(图3B)供产生折叠频率约为100千赫的射频电压和电流波形的复制波形(图4)。复制出的折叠波形保存的相位和谐波信息其准确度是其它取样方法所没有的。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 探头 探测 折叠 取样 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体设备，其中射频功率发生器产生预定频率的射频电波，该电波通过射频匹配网络提供给等离子体室的功率输入端，在等离子体室内，所述电波产生等离子体，且由检测装置在所述等离子体室的输入端对射频电波进行取样，以确定加到所述等离子体室的射频电功率的测定值；所述设备的特征在于，所述检测装置有一个取样装置，用以在低于所述预定频率的预定取样频率下对所述射频波的幅值进行取样，并结合合成电路将所取样的幅值组合起来，从而产生远低于所述预定频率的预定折叠频率的折叠波形。
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