[发明专利]生产含磷化氢气体的方法和装置

摘要

本发明公开了一种生产磷化氢和稀释气体混合物的方法和装置。将一种可水解的金属磷化物，优选磷化镁，在对磷化氢呈惰性的气氛下，以由松散金属磷化物组成的自由流动形式释放到液体水中。产生的磷化氢和惰性载气如CO₂的混合物例如是在用于熏蒸前在气体混合室中用空气稀释至浓度低于燃烧极限以下。采用氢气作为载气时，磷化氢混合物适用于半导体掺杂。

主权项

1.产生磷化氢和稀释气体的混合物的方法，其中，将选自磷化镁、磷化铝和磷化钙的可水解的金属磷化物在发生区中与液体水接触，由此金属磷化物水解以释放磷化氢，磷化氢从发生区中排出，在由发生区排出的磷化氢具有可燃组合物的情况下，在其产生到达到其使用场所的时间内用稀释气体稀释成在使用条件下的不可燃的组合物，其中金属磷化物以自由流动的颗粒形式被释放到液体水中，它们是由松散的金属磷化物颗粒组成，其粒度大小约为0.1mm-2.5mm，基本上无金属磷化物粉末、无水解阻滞剂和基本上无以涂层或疏水添加剂形式的疏水物质，在发生区中稀释已经开始的情况下，则在含有对磷化氢呈惰性的构成至少部分稀释气体的载气的气氛中进行。