[发明专利]手动插拔机无效
| 申请号： | 96108596.7 | 申请日： | 1996-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1135612C | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 坂本哲也;萩原静夫 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社;萩原工程株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R31/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种手动插拔机，把封装插入老化管座或拔出时，不会使封装管腿因与管座盖的边缘接触而变形，也不会因按压管座盖的负荷使操作人员的手指疲乏或疼痛而使作业效率降低，因而可以大幅度提高老化实验的处理效率。它具备有：把封装从托架移向老化管座的机构，进行定位以便使封装可以插入老化管座的机构和把封装插入老化管座的机构。另外，还有把封装从老化管座中取出的机构，把封装移动到托架去的机构和把封装收存于托架中的机构。 | ||
| 搜索关键词： | 手动 插拔机 | ||
【主权项】：
1.一种手动插拔机，在半导体装置的最终测试工序中，为了进行老化实验，用于把封装插入到老化管座中去，在老化之后把封装从管座中拔出并收存于托架中去的手动插拔机，其特征是具备有：可以改变为多个步距的管座抓持机构、微小位置修正机构和用于老化管座保持机构的开闭机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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