[发明专利]气体回收设备无效
| 申请号： | 96110281.0 | 申请日： | 1996-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN1150240A | 公开（公告）日： | 1997-05-21 |
| 发明（设计）人： | 野沢成祯;富田伸二 | 申请（专利权）人： | 缔酸株式会社 |
| 主分类号： | F25J3/08 | 分类号： | F25J3/08;C23C16/00;C23F4/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 易咏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的气体回收设备有一CVD装置，它包括具有惰性气体供应通道以及清洗气体供应通道的气体输入部分，这些通道都与CVD装置相连；还设有废气排放部分，废气循环部分，冷却部分以及回收部分；稀释惰性气体包括沸点低于清洗气体的气体；供应成分与稀释惰性气体相同的液态冷惰性气体的供应部分、由冷惰性气体的汽化热冷却的惰性气体循环部分以及惰性气体排放部分构成冷却部分；惰性气体排放部分连接惰性气体供应通道。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 回收 设备 | ||
【主权项】：
1.一种气体回收设备，它包括：一个CVD装置，它包括一个气体输入部分，一条用来供应稀释的惰性气体的惰性气体供应通道，一条用来供应清洗气体的清洗气体供应通道，以及一条废气排放通道，用于排放来自所述CVD装置的废气；一个回收装置主体，它与所述CVD装置连通，并包括一个用来循环来自所述CVD装置的废气的废气循环部分，一个用来冷却和液化留在所述废气中的任何清洗气体的冷却部分以及一个回收部分，用来回收在所述冷却部分中液化的清洗气体；以及一条气体再循环通道，它用来将在所述回收部分中回收的所述清洗气体供给所述的气体输入部分。
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