[发明专利]清洗干燥方法及装置无效
| 申请号： | 96111460.6 | 申请日： | 1996-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1157351A | 公开（公告）日： | 1997-08-20 |
| 发明（设计）人： | 今田哲夫 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | D06F35/00 | 分类号： | D06F35/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 黄依文 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使清洗后的被清洗物旋转进行干燥的清洗干燥方法及装置，通过将被清洗物安装在置物台上并使其旋转，产生从被清洗物的旋转中心部沿被清洗物的正反面流向外周部的空气流，用该空气流除去被清洗物中心部的附着物。因此，即使不向被清洗物的正反面喷射干燥用的氮气，也能获得良好的清洗干燥状态，能适用于液晶显示器中所使用的玻璃基片等的清洗干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 干燥 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种清洗干燥方法，其特征在于，包括：用水或溶剂清洗被清洗物的清洗工序；使清洗后的被清洗物旋转、由于该旋转而产生从被清洗物的旋转中心部沿被清洗物的正反面流向外周部的空气流、使被清洗物干燥的干燥工序。
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