[发明专利]单片薄膜谐振器格型滤波器及其制造方法无效
| 申请号： | 96111656.0 | 申请日： | 1996-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1103138C | 公开（公告）日： | 2003-03-12 |
| 发明（设计）人： | 卢克茫;弗里德·Ｓ·海克纳尔;罗伯特·Ｃ·金斯曼 | 申请（专利权）人： | 摩托罗拉公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陆立英 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种单片薄膜谐振器网络滤波器，它含有位于衬底上以便确定第一组I/O端的隔开的导电膜带、一个位于导电膜上的压电材料层、以及位于压电层上正交于第一带以形成交叉区的隔开的导电膜带各交叉区确定一个薄膜谐振器和一个第二组I/O端。在选定的交叉区上放置多个介电膜部分以便对薄膜谐振器进行质量加载从而降低谐振频率。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 薄膜 谐振器 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造单片薄膜谐振器阵列的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一个带有平坦表面的支持衬底；在支持衬底的平坦表面上放置一个第一导电膜，所述的第一导电膜被分隔成为多个第一导电带，所述的多个第一导电带的每个在空间上被隔开并且互相平行，以限定第一组I/O端；在第一导电膜上放置一个压电材料层；在压电材料层上放置一个第二导电膜，所述的第二导电膜被分隔为多个第二导电带，所述的多个第二导电带的每个在空间上被隔开并且互相平行，所述的多个第二导电带被放置得正交于所述的多个第一导电带，而且所述的多个第二导电带的每个覆盖所述的多个第一导电带的每个的一部分，以形成多个交叉区，并限定一个第二组I/O端，这些交叉区的每个限定一个具有谐振频率的薄膜谐振器；及在多个交叉区的每个上设置一个介电材料膜部分，以对多个交叉区所限定的薄膜谐振器进行质量加载，并改变已被质量加载的薄膜谐振器的谐振频率。
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