[发明专利]敏感元件与高压传感器的整体结构无效
| 申请号： | 96111857.1 | 申请日： | 1996-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1147631A | 公开（公告）日： | 1997-04-16 |
| 发明（设计）人： | 让-伯纳德·阿维塞 | 申请（专利权）人： | 推进欧洲公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘志平 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种包括具有硅衬底的敏感元件的压力传感器，应变片固定在硅衬底上，并被安放在传感器主体中。敏感元件安装在底座上，底座通过一个零件的中间物与传感器主体的金属部分相连接，该零件是弹性可变形的，适用于抵销，底座和敏感元件之间相对传感器主体的热膨胀差别。该传感器还包括应力承受块，它能承受由被测压力在由底座和敏感元件构成的组合件上产生的应力。从而该传感器适合在高压。和在高而变化的温度环循中应用。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感 元件 高压 传感器 整体 结构 | ||
【主权项】：
1.压力传感器包括：具有接受欲测压力的进口(14)的传感器主体(10)；具有硅衬底(15)的压力敏感元件，应变片(16)固定在硅衬底上；敏感元件安装于其上的底座(17)；和将底座与传感器主体相连接的连接另件(18；28)，其特征在于，为了可靠地测量至少达到1000巴的高压，同时温度的调节变化在包括至少从4°K至473°K区间的范围，连接另件(18；28)是弹性可变形的，以抵销底座(17)和传感器主体(10)之间的热膨胀差别，和敏感元件压靠在一应力承受块(21)上，此块能承受由欲测压力作用在底座(17)和衬底(15)上的应力，而所述应力不是施加在弹性可变形连接另件上。
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