[发明专利]原子力与光子扫描隧道组合显微镜图像分解方法无效
申请号: | 96111979.9 | 申请日: | 1996-09-03 |
公开(公告)号: | CN1088523C | 公开(公告)日: | 2002-07-31 |
发明(设计)人: | 吴世法 | 申请(专利权)人: | 吴世法 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116023 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 原子力/光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM)图像分解方法属于光学显微镜领域。为消除单光束光子扫描隧道显微镜中存在假像并从混合图像中分解出样品光学图像和表面形貌图像提出本方法,其主要特点π对称光束同时均匀照明,AF/PSTM双重功能弯光纤尖共振,等光子隧道信息平均强度扫描和等尖至样品平均间距扫描,实现消假像和图像分解。解决了光子扫描隧道显微镜产业化中关键技术。 | ||
搜索关键词: | 原子 光子 扫描 隧道 组合 显微镜 图像 分解 方法 | ||
【主权项】:
1、原子力与光子扫描隧道组合显微镜图像分解方法,在原子力与光子扫描隧道组合显微镜中设置消假象的π对称光束全内反射照明样品,其特征是:π对称光束同时一起照明样品一次扫描成像;原子力与光子隧道双重功能弯光纤尖在样品表面近场作纵向共振颤动,进行等振幅条件下扫描,作等光子隧道平均间距扫描模式成像或作等光子隧道信息平均强度扫描模式成像;在同一扫描过程中采集原子力样品形貌图像,同时采集已消除假象和分离形貌图像的样品折射率图像。
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