[发明专利]多束扫描方法和多束扫描装置

摘要

应用独立的多个激光发光源高精度地设定靶上的光束位置和光束步距的多束扫描方法和装置。具有设于激光发光源和作为靶的感光鼓之间并使激光发光源发射出来的激光光束共同偏转以对感光鼓进行扫描的多角形镜；设于该镜与发光源之间，并使光束在感光鼓上的照射位置可以移动的电流镜；设于多角形镜的下游且与感光鼓成光学共轭的位置以检测光束在感光鼓上的照射位置的传感器；根据该传感器的输出控制电流镜，使光束在感光鼓上的照射位置处于规定位置的位置控制装置。

主权项

1.一种使用从多个发光源分别发射出来的多个激光光束在靶上进行扫描的多束扫描装置，包括：第1偏转装置，设于上述多个发光源与上述靶之间，用于使从上述多个发光源分别发射出来的多个激光光束共同地偏转以在靶上进行扫描；第2偏转装置，分别设于该第1偏转装置与上述多个发光源之间，可使各个激光光束在上述靶上的照射位置移动；位置检测装置，设置在处于上述第1偏转装置下游一侧的位置，而且是与上述靶成光学共轭的位置上以检测各个激光光束在上述靶上的照射位置；位置控制装置，用于根据上述位置检测装置的输出控制上述第2偏转装置，使上述各个激光光束在上述靶上的照射位置处于规定位置，其特征是：上述位置检测装置具有在一个芯片上设置有多个受光器件的光电变换器件，且可以检测上述各个激光光束在扫描方向的照射位置和与扫描方向垂直的方向的照射位置，上述多个激光光束每次扫描上述位置检测装置的受光面时进行驱动，使得多个激光光束之中仅仅一个发光，并借助于每次扫描切换发光驱动的激光光束的办法，检测与上述正在发光的激光光束的扫描方向垂直的方向上的照射位置。