[发明专利]用谐波测定光谱灵敏检测真空中分子种类的方法和装置

摘要

一种谐波测定光谱的新颖方法和装置,包括装备一确定试样区范围的室,该室具有至少一个光入/出口;一频率和/或幅度调制光源。光源的幅度调整到试样区内被测气相分子种类产生的吸收特征区中心上的谐波信号达到最大时的数值。光源的中心频率被锁定到吸收特征区的中心或在特征频率的区段内反复扫描,产生的光谱被记录或平均。装备有探测器,测量从室出射的光束。在室外面容器内装有光源和探测器。本方法检测试样中的气相分子种类,在半导体工艺中有特定的适用范围。

主权项

1.一种用谐波测定光谱检测试样中气相分子种类的方法，包含：设置一个具有至少一道围壁定出的试样区域范围的小室，该小室具有至少一个光入/出口，每个入/出口装有一个表面面向试样区域的透光窗并配置在圆周方位上以便密封小室。其中试样气体以平行小室中心轴的方向流过试样区域，小室工作于大气压附近或小于大气压。设置一个频率和/或幅度调制光源，用于将一束光通过至少一个透光窗中的一个透光窗进入小室，并将光源的调制幅度设置到使由于试样区域内被测气相分子种类产生的吸收特征中心上的谐波信号值近似达到最大时的数值；调整光源的中心频率以便或是被锁定到吸收特征的中心，或是在包含有特征的频率范围上反复扫描，形成的光谱根据需要可以逐一地记录或者平均处理；装备一个探测器，用于测量通过至少一个透光窗中的一个透光窗从小室出射的光束；其中光源和探测器装在小室外面的容器室内并与试样区域隔离，容器室和试样区域被安装成通过至少一个透光窗中的至少一个透光窗互相光传递，并使容器室里面的压力控制到较之大气压为正的数值。