[发明专利]一种半导体薄膜电热元件及其制法无效
| 申请号： | 96112951.4 | 申请日： | 1996-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN1180288A | 公开（公告）日： | 1998-04-29 |
| 发明（设计）人： | 黄文德 | 申请（专利权）人： | 黄文德 |
| 主分类号： | H05B3/26 | 分类号： | H05B3/26;H05B3/12 |
| 代理公司： | 厦门市专利事务所 | 代理人： | 徐东峰 |
| 地址： | 361004 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体薄膜电热元件,是在绝缘耐热的底衬上有一层致密的稀土复合物半导体薄膜,电热元件两端是电极,其制法是通过化学溶液制备、衬底清洗及预热、高温化学喷涂、反应沉淀结晶成膜、退火并制作电极等过程,缩短了制作过程,且半导体薄膜材料有很好的抗氧化性和抗酸碱腐蚀能力,薄膜与衬底之间分子结合力强,使热稳定性好,在急冷急热冲击下薄膜不易脱落,在高温下不蒸发减薄,克服了现有半导体薄膜电热元件的使用性能差、制作过程复杂等缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 薄膜 电热 元件 及其 制法 | ||
【主权项】：
1、一种半导体薄膜电热元件，其特征是在绝缘耐热的底衬(1)上有一层致密的稀土复合物半导体薄膜(2)，电热元件两端是电极(3)。
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