[发明专利]制造具有最佳光效率的致动反射镜阵列的方法无效
| 申请号： | 96114065.8 | 申请日： | 1996-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1157420A | 公开（公告）日： | 1997-08-20 |
| 发明（设计）人： | 金钟三 | 申请（专利权）人： | 大宇电子株式会社 |
| 主分类号： | G02B17/02 | 分类号： | G02B17/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蹇炜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于制造薄膜致动反射镜阵列的方法，包括有步骤在一有源矩阵的顶上形成一薄膜待除层；在该薄膜待除层的顶上形成一M×N半成品的致动机构阵列，各半成品的致动机构具有一薄膜电致位移构件、一第二薄膜电极及一弹性构件；在各半成品的致动机构的侧表面上形成一聚合物层；在各半成品的致动机构的顶上淀积第一薄膜层；去除该聚合物层，从而形成一M×N致动机构阵列；及去除该薄膜待除层，从而形成该M×N薄膜致动反射镜阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 具有 最佳 效率 反射 阵列 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于制造薄膜致动反射镜阵列的方法，该方法包括有以下步骤：在一有源矩阵的顶上形成一薄膜待除层；在该薄膜待除层的顶上形成一M×N半成品的致动机构阵列，各半成品的致动机构由其间薄膜待除层的暴露部分所规则的间隔开，各半成品的致动机构具有一薄膜电致位移构件、一第二薄膜电极及一弹性构件；在包括薄膜待除层的暴露部分的各半成品的致动机构的侧表面上形成一聚合物层；在各半成品的致动机构的顶上淀积第一薄膜层；去除该聚合物层，从而形成一M×N致动机构阵列，其中各致动机构包括一形成在各半成品的致动机构的顶上的第一薄膜电极；及去除该薄膜待除层，从而形成该M×N薄膜致动反射镜阵列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大宇电子株式会社，未经大宇电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/96114065.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于从连续输送的纸带上分离纸片的装置
- 下一篇：除臭装置
