[发明专利]与控制硅晶体生长的系统一起使用的无失真摄像机

摘要

用于确定从硅熔体拉制的硅晶体的直径的系统,用于控制硅晶体生长设备。该熔体具有平的表面,该表面包括呈现为与硅晶体相邻的明亮环的弯月形液面。位于熔体表面上方并离开晶体的一个摄像机包括大体上与熔体表面平行的像平面,并响应于来自亮环的光以产生亮环部分的图像。由此,该摄像机补偿了摄像机相对于晶体的位置造成的图像失真。图像处理电路检测图像的特性并作为检测特性的函数而确定亮环的边缘。

主权项

1.与用于从硅熔体生长硅晶体的设备结合使用的系统，所述系统用于确定从硅熔体拉制的硅晶体的尺寸，所述硅熔体具有大体上平的表面，该表面包括呈现为与硅晶体相邻的明亮区的弯月形液面，所述系统包括：一个定位在硅熔体表面上方并离开硅晶体的摄象机，用于产生与硅晶体相邻的明亮区部分的图象，所述摄象机包括一个用于接收并透过来自与硅晶体相邻的明亮区的光的图象投影器和一个响应于该图象投影器透过的光以产生与硅晶体相邻的明亮区部分的图象图形的象平面，所述象平面大体上与硅熔体表面平行，从而对由于摄象机相对于硅晶体的位置引起的图象图形的失真进行补偿；一个用于检测图象图形的特性的检测电路；一个确定电路，用于作为该检测特性的一个函数而确定明亮区的边缘，并用于确定包括明亮区的确定边缘的形状；以及一个测量电路，用于确定该确定形状的大小，从而作为该确定形状的该确定大小的一个函数而确定硅晶体的大小。