[发明专利]一种在紫外吸收材料表面制作光栅的方法及其制品无效
| 申请号： | 96116970.2 | 申请日： | 1996-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1168981A | 公开（公告）日： | 1997-12-31 |
| 发明（设计）人： | 骆桂蓬;祝世宁;刘治国;朱永元;葛传珍;陆亚林;闵乃本 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 南京大学专利事务所 | 代理人： | 黄嘉栋 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在紫外吸收材料表面制作光栅的方法，它是用准分子激光脉冲的干涉条纹直接作用于紫外吸收材料表面，使表面刻蚀出周期结构，制作出光栅。本方法制作的光栅，原子力显微镜表明，有波纹形的表面，有良好的周期性，刻蚀深度均匀，刻槽光滑，用本方法便于工业化制作光栅滤波器、光栅耦合器、光栅透镜或分布反馈Bragg光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 吸收 材料 表面 制作 光栅 方法 及其 制品 | ||
【主权项】：
1.一种在紫外吸收材料表面制作光栅的方法，其特征是用准分子激光脉冲的干涉条纹直接作用于紫外吸收材料表面，制作出光栅结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京大学，未经南京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/96116970.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
