[发明专利]反射镜镜面形状控制装置无效

专利信息
申请号: 96118569.4 申请日: 1996-12-09
公开(公告)号: CN1162754A 公开(公告)日: 1997-10-22
发明(设计)人: 浅里幸起;森浩道;坂井英一 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: G02B23/00 分类号: G02B23/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 董巍,叶恺东
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于大型反射望远镜的镜面形状控制装置。因只与离散点有关而与机械特性无关地进行控制,故能避免反射镜受到不必要的应力。对反射镜用与其机械结构近似的非约束圆形板进行近似,本征函数值计算部算出圆形板的自由振动本征函数的贝塞尔·付里叶函数的值。形式位移鉴别部用该值,将波面畸变的矫正所要求的镜面位移量近似到本征函数的给定振动形式的线性结合。支承机构指令部控制传动机构,使该线性结合函数的值成为由反射镜支承机构支承的位置的镜面位移量。
搜索关键词: 反射 镜镜面 形状 控制 装置
【主权项】:
1.一种反射镜的镜面形状控制装置,其特征在于具有:带有能对反射镜的镜面形状进行控制的传动机构的反射镜支承机构;检测由镜面反射的光的波面畸变、输出波面畸变信息的波面检测器;输入上述波面畸变信息,控制上述反射镜支承机构的传动机构的控制器,上述控制器根据上述波面畸变信息,对镜面内多个点计算出矫正上述波面畸变所必须的上述所要求的镜面位移量,将该多个点的上述所要求的镜面位移量用线性结合的最佳近似函数近似成与镜面形状及约束条件相应的本征函数的规定振动方式,控制上述反射镜支承机构的传动机构,以便将在由反射镜支承机构支承的位置处的该最佳近似函数的值作为镜面位移量。
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