[发明专利]一种发光粉包封膜的制备方法

摘要

用发光粉制作的电致发光器件需要进行包封,主要是防老化和防潮,采用的方法一般是用玻璃和含氟塑料作包封材料将整体器件密封起来。这种包封方法使器件留有一边缘,影响器件的使用。本发明公开了一种发光粉包封膜的制备方法,该方法制备出的发光粉制作的电致发光器件不需再作整体包封。氮化硅是一透明材料,化学稳定性、热稳定性和致密封性好,介电常数和绝缘系数高,耐击穿性强,能有效的防止离子的迁移。由于氮化硅化合的温度较高(900℃以上),会导致发光粉的发光亮度降低,因此采用等离子体增强化学气相沉积。等离子体能量大,电子温度高,使硅烷和氨气在较低的温度下化合成氮化硅。

主权项

1、一种发光粉包封膜的制备方法，其特征是将发光粉置于抽真空为13-133Pa的容器中加热至200-300℃，通入硅烷(5-20Sccm)和氨气(10-40Sccm)，用等离子体增强化学气相沉积。