[发明专利]离子注入器中离子束形成的方法和装置

摘要

低能量离子注入器(10)有发射离子(14)的离子源(12)，和注入室(17)。质量分析磁铁(122)配置在沿源和注入室之间的束通道上。磁铁包括多个磁极靴(110，112)，并有面向内的极面(114，116)，至少确定离子偏转区(12)的一部分。电流传导线圈(122，123)在极靴附近的偏转区建立二极磁场(BO)。附加的线圈(130，131，132，133，134，135，136，137)在偏转区建立四极磁场(Q1，Q2，Q3，Q4)。控制器(100)电连接到磁铁的线圈，控制电流通过电流传导线圈，在极靴附近的偏转区产生磁场。

主权项

1.一种从离束(14)中过滤粒子的方法，该方法包含以下步骤：a)使离子束运动通过磁场区(120)，b)至少激励一个二极场产生线圈(122，123)，在磁场区产生二极磁场(BO)，c)至少激励一个四极场产生线圈(130，131，132，133，134，135，136，137)，在磁场区产生迭加在二极磁场上的四极磁场(Q1，Q2，Q3，Q4)，和d)控制对至少一个二极场产生线圈和至少一个四极场产生线圈的激励，以便当离子来在磁场区运动时，从离子速中过滤粒子。