[发明专利]涂布多孔涂层的方法和设备以及电解电容器的阴极膜无效
| 申请号： | 96180241.3 | 申请日： | 1996-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1155735C | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | S·N·K·梁赞采夫;I·N·K·朱尔凯维奇;V·F·K·科舍莱弗斯基 | 申请（专利权）人： | 季塔恩实验设计局内部股份有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01G9/045;H01G9/058 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 孙爱 |
| 地址： | 俄罗斯联*** | 国省代码： | 俄罗斯;RU |
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| 摘要： | 当膜连续移动时，通过真空沉积将钛多孔层沉积在铝基质上。然后在氮或氨气氛中形成另一氮化钛层。其技术结果是得到这样一种阴极膜，它有最大可能的表面，在电解质中有高的耐腐蚀性以及在阴极-电解质接触处有低的电阻。用真空沉积法将多孔涂层涂布到带上的设备包括真空室、汽化器、用于传送带的上下导辊和折向辊。其技术结果是在宽带(即大于150mm)上制成有最大孔隙率的涂层圆柱形结构物，而在带上没有折痕形成。这一结果是由这样的工作部分结构得到，蒸汽在膜上的入射角为40-60°，而沉积区入口和出口处的入射角为0-10°，在导辊的圆柱形表面上有人字形槽。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 涂层 方法 设备 以及 电解电容器 阴极 | ||
【主权项】：
1.一种制备阴极膜的方法，该法包括用真空沉积法将钛多孔层涂布到铝基质上，其特征在于，在以下条件下，用钛电子束汽化法进行沉积：在铝膜距汽化器300-700mm的上方和蒸汽流在膜上的入射角为50±10°下连续移动，在真空室的压力为0.01-0.5Pa下，在冷凝温度为300-500℃下沉积，此后在氮或氨气氛中，在0.01-0.5Pa压力下通过钛汽化形成氮化钛层。
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