[发明专利]新颖的碳化硅仿真晶片无效
| 申请号： | 96190134.9 | 申请日： | 1996-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1147806A | 公开（公告）日： | 1997-04-16 |
| 发明（设计）人： | C·A·维勒肯斯;N·P·阿尔赛诺 | 申请（专利权）人： | 圣戈本/诺顿工业搪瓷有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/573 | 分类号： | C04B35/573;C30B31/10;C04B41/87;C04B38/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 林蕴和 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基本上由重结晶碳化硅组成的未硅化处理或经硅化处理的晶片，晶片直径至少为150mm，厚度为0.5～2mm，晶片中含有15～43v/o的孔隙率或游离硅。 | ||
| 搜索关键词： | 新颖 碳化硅 仿真 晶片 | ||
【主权项】：
1.一种未硅化处理的晶片，基本上由重结晶的碳化硅组成，晶片直径至少为150mm，厚度为0.5～1mm，具有15v/o～43v/o的孔隙率。
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