[发明专利]高疲劳延性的电沉积铜箔无效

专利信息
申请号: 96190650.2 申请日: 1996-05-29
公开(公告)号: CN1113980C 公开(公告)日: 2003-07-09
发明(设计)人: S·J·卡洛瑟;R·维奇曼;B·施内德;U·博勒尔;R·D·阿皮森 申请(专利权)人: 古尔德电子有限公司
主分类号: C25D1/04 分类号: C25D1/04;C25D3/38;H05K1/09
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 陈季壮
地址: 暂无信息 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种具有基本上均匀的,无取向的晶粒组织,即基本上无柱状晶的可退火电沉积铜箔,所述箔的特征是其在177℃退火15分钟后具有至少约25%的疲劳延性。在一实施方案中,将该箔退火,所述箔的特征是其疲劳延性至少为65%。本发明还涉及用特征为氯化物离子的极限浓度最高是约5ppm,而有机添加剂极限浓度最高约0.2ppm的电解液制造电沉积铜箔的工艺。
搜索关键词: 疲劳 延性 沉积 铜箔
【主权项】:
1.具有基本上均匀的无取向的晶粒组织,在177℃退火15分钟后基本上无柱状晶的可退火电沉积铜箔,其特征为疲劳延性至少为25%,23℃的最大抗拉强度在2.896×108-4.827×108帕斯卡(42000-70000磅/平方英寸)的范围内,23℃的延伸率在15%-31%的范围内,180℃的最大抗拉强度在1.517×108-2.206×108帕斯卡(22000-32000磅/平方英寸)的范围内,180℃的延伸率在24%-45%的范围内,所述的箔是用特征为氯离子浓度最多为5ppm,有机添加剂浓度为零以及至少一种选自磷酸盐、砷、锌和锡的电解液电沉积的。
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