[发明专利]物体观测设备和方法无效

专利信息
申请号: 96190695.2 申请日: 1996-05-29
公开(公告)号: CN1158160A 公开(公告)日: 1997-08-27
发明(设计)人: 三宅民生;石田智也 申请(专利权)人: 欧姆龙株式会社
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 杜日新
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种设备包括光投射装置1-3,用于将光束通过预定路径投射到一个物体的一个目标观测部分上;循环反射装置4-7,用于沿着一个入射方向反射被目标观测部分所反射的入射光束;以及,光接收装置8和9,用于反射被循环反射装置和目标观测部分所反射并通过该预定光路而到来的光束。这样能够改善维护特性、降低成本并改善检查的准确性。
搜索关键词: 物体 观测 设备 方法
【主权项】:
1.一种物体观测设备,包括:光投射装置,用于通过预定光路把光束投射到一个物体的目标观测部分上;循环反射装置,用于沿着入射方向反射被所述目标观测部分所反射的所述入射光束;以及光接收装置,用于接收被所述循环反射装置和所述目标观测部分所反射并通过所述预定光路而到来的所述光束。
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